ATAブランド
ターボマルチコーターAT-901
特徴
高倍率観察に必要なＣｒ（粉状性）のスパッタが可能
特殊シャッター機能により試料の熱損傷を抑制
排気ポンプによる内外へのオイル汚染無し
＜オプション＞
カーボンコーティングアタッチメント（オプション）によりカーボン被膜生成が可能
プラズマクリーニング（本体オプション）により有機系異物除去・表面進化処理が可能
仕様
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スパッタリング 方式 |
DCマグネトロンスパッタリング 放電電圧：DC 1500V max 放電電流：DC 50mA max |
| ターゲット(別売) | Cr、Pt、Au、Au-Pdなどオプションとして各種ターゲットを用意 |
| 使用ガス | Air、Ar |
| 到達真空圧 | 10 |
| チャンバー内寸 | φ100mm |
| 試料ホルダー | φ50mm |
| 真空排気 | 主排気：ターボミニポンプ(本体内蔵) 補助排気：ダイヤフラムポンプ(外置き) |
| 寸法 | 本体 360W × 417D × 380H |
| 重量 | 本体 約20kg ダイヤフラムポンプ 4kg |
| 電源 |
AC 100V/200V(出荷時選択) 5A 15A (別売カーボンコーディングアタッチメント) |
コーティング例
◆凹凸のある試料（ろ紙表面）の撮像例（SEM画像）
倍率x5,000倍
倍率x5,000倍
スライドガラスのコーティング・サンプル
◆ コーティング膜粒状性の違い例（AFM像）
◆カーボン薄膜のTEM観察像
ガラス基板にカーボンを蒸着させ、真空度の違いによる蒸着状態の違いを観察（TEM像）しました。
カーボン蒸着の状態は、雰囲気2Paより雰囲気0.02Paの方が、粒子が細かく着いていることがわかります。
（倍率は200,000倍）
真空度=2Pa（当社の下位機種）
真空度=0.02Pa (本装置)
※本装置の仕様及びデザイン等は、改良のため予告なく変更されることがありますのでご了承下さい。
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